Mks(電容式)真空硅管
利用彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生形變而引起電容變化的原
理制成的。
測量頭中有一層彈性膜片，把測量頭分為兩個室，一個是
內(nèi)置的高真空室，另一個室可以與外界相通。膜片與高真
空室內(nèi)電J構(gòu)成一個電容器。當(dāng)測量頭處于大氣壓時，膜
片處于較大壓力下，發(fā)生較大位移，使電容的增大;當(dāng)測
量頭處于真空狀態(tài)時，膜片壓力減小，位移減少，從而電
容器的電容減小。通過測量電容大小可以知道真空度。
電容式真空規(guī)管測量的數(shù)值與氣體的種類無關(guān)，與壓力大
小有關(guān)，所測量真空度精度高，可測蒸氣和腐蝕性氣體。
Mks(電容式)真空規(guī)管測量的是容器的絕對壓力。
真空規(guī)管安裝在容器的上方，避免工藝粉塵和液體聚集,
遠(yuǎn)離震源.
Mks(電容式)真空硅管
工作電壓：DC+/- 15V,輸出：DC 0-10V模擬線性輸出。
膜片的平衡位置（零點(diǎn)）對環(huán)境溫度非常敏感，為了確保薄
膜規(guī)的零點(diǎn)更穩(wěn)定通常在薄膜規(guī)外面加一層控溫裝置，解決
薄膜規(guī)零點(diǎn)漂移大的問題。
零點(diǎn)的設(shè)定可以通過調(diào)整位于規(guī)管上方的零點(diǎn)電位計(jì)，在零
點(diǎn)調(diào)整前規(guī)管必須在穩(wěn)定的狀態(tài)下。
MKS規(guī)管在工作前需要預(yù)熱2小時后才能開始抽真空，剛送電
時，表盤上溫度狀態(tài)燈隨加熱溫度的上升由橙色變成黃色，
正常情況下加熱失敗狀態(tài)燈不應(yīng)該亮（紅燈），亮?xí)r需要檢
修.
